本文源自:金融界
金融界2025年5月3日消息，国家知识产权局信息显示，北京精恒工控科技有限公司申请一项名为“一种用于石英晶体晶圆双面刻蚀的真空装置及传送机构”的专利，公开号CN119905433A，申请日期为2025年1月。
专利摘要显示，本发明涉及晶圆刻蚀装置技术领域，公开了一种用于石英晶体晶圆双面刻蚀的真空装置及传送机构，包括：真空装置和传送机构，传送机构设置在真空装置内；真空装置包括刻蚀机本体、晶圆托架、第一进气管、第二进气管和抽真空模块；传送机构包括伸缩竖杆、伸缩横杆、支撑杆和真空吸盘；控制模块，被配置为根据晶圆厚度控制伸缩竖杆放置晶圆时的降速。本发明的真空装置精确控制刻蚀过程中的气流和气体排除，确保刻蚀环境稳定和质量均匀。传送机构结合伸缩竖杆、横杆、支撑杆和真空吸盘，确保晶圆传送过程中的稳定性，防止损伤或位移。控制模块根据晶圆厚度调节降速，避免放置时破损。整体智能控制和精确调节提升了刻蚀精度、设备可靠性和自动化水平。
天眼查资料显示，北京精恒工控科技有限公司，成立于2016年，位于北京市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本500万人民币。通过天眼查大数据分析，北京精恒工控科技有限公司参与招投标项目16次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息15条，此外企业还拥有行政许可5个。
